
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Konrad-Zuse-Str. 14, 99099 Erfurt
FORSCHUNGSSCHWERPUNKTE:
- Siliziumbasierte Mikrosensoren & Mikrosystemen, speziell MEMS und MOEMS
- F&E Dienstleistungen, Prototyping sowie Kleinserienfertigung kundenspezifischer Mikrokomponenten
- Umfassende Kompetenzen und Technologien entlang der gesamten Wertschöpfungskette
Institutsleitung: Prof. Dr. Thomas Ortlepp, Thomas Brock









