Aktuelles

Auslobung Silicon Science Award 2023

21.02.2023

Seit fast 30 Jahren unterstützt der CiS e.V. anwendungsorientierte Forschung auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik.

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Erstes Leichtbauforum Thüringen: Unternehmen, Verbände und Forschungsinstitute vernetzen sich bei Schlüsseltechnologie

27.01.2023

14 Unternehmen aus Thüringen, Sachsen, Sachsen-Anhalt und Bayern sowie sechs wirtschaftsnahe Forschungsinstitute, zwei Hochschulen und vier Verbände beteiligten sich – und ließen sich die…

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Etablierung einer Forschungsgruppe für die Herstellung von YIG-Schichten mittels Gasphasenabscheidung in Jena

09.01.2023

Zum Jahresende 2022 erhielt INNOVENT e.V. eine Förderzusage im Rahmen der Richtlinie des Freistaats Thüringen zur Förderung der Sicherung und Gewinnung von hochqualifiziertem Personal für Forschung…

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CiS

Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

Forschungs-und Entwicklungsschwerpunkte

  • Siliziumbasierte Mikrosystemtechnik: Komplettlösungen im Bereich MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), MOEMS (Micro-Optical-Electro-Mechanical-Systems), kapazitive Sensorik
  •  Forschung auf dem Gebiet de optoelektronischen, kapazitiven und piezoresistiven Sensorik
  • Technologieführerschaft bei Strahlungsdetektoren, Druck-MEMS, Photodioden
  • Fachkompetenz auf den Gebieten Simulation, Design, Waferprocessing, Aufbau- und Verbindungstechnik, Verifikation, Test und Analytik, Kalibrierung von Mikrosystemen
  • Entwicklungen auf den Gebieten er Fertigungstechnologien zur Prozessierung von 4“ Silizum-Wafern; CMOS-kompatible WAferprozesse einfach/ doppelseitig, 3D-Strukturierung, porosizieren, Passivierung
  • Multi-Projekt-Wafer-Service für Optosensoren (MPW)
  • Entwicklungen auf dem Gebiet der Fertigungstechnologien der Aufbau-und Verbindungstechnik für Mikrosystemen
  • Applikationszentrum Mikrooptische Systeme (amos) in Kooperation mit Fraunhofer IOF, Jena
  • BMBF Spitzenforschung „Optische Mikrosysteme“
  • Forschungspartner im Spitzencluster „Solarvalley Mitteldeutschland"
  • Enge Zusammenarbeit mit einem Netzwerk von Instituten, Hochschulen und Industrieforschungseinrichtungen

Netzwerke

  • VDMA, AG Modulare Mikrosysteme - Match-X
  • IVAM e.V.
  • Forschungsgesellschaft für Mess- und Sensortechnik e.V. Dresden
  • SolarInput e.V.
  • AMA Fachverband für Sensorik e.V.
  • Optonet e.V.
  • Solarvalley Mitteldeutschland e.V.
  • EPoSS THE EUROPEAN TECHNOLOGY PLATFORM. ON SMART SYSTEMS INTEGRATION

Kontakt

CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Geschäftsführer: Prof. Dr. Thomas Ortlepp, Thomas Brock
Konrad-Zuse-Straße 14           
99099 Erfurt               

Telefon: 0361 - 663 - 1410
Telefax: 0361 - 663 - 1413

E-Mail: info@cismst.de
Internet:  www.cismst.de