Aktuelles

IAB-TAGE »BETON« 2022 am 09. und 10. November 2022 in Weimar

10.08.2022

Mit Ideen und Lösungsansätzen zu den Zukunftsfragen der Baubranche befassen sich die IAB-TAGE »BETON« am 09. + 10. November 2022 in Weimar.

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CU Innovation Day

20.07.2022

Am Dienstag, dem 13. September 2022, ist das TITK Gastgeber für den CU Innovation Day. Diese gemeinsame Veranstaltung von Composites United e.V. und PolymerMat e.V. – Kunststoffcluster Thüringen –…

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30 Jahre GFE Schmalkalden

23.06.2022

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CiS

Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

Forschungs-und Entwicklungsschwerpunkte

  • Siliziumbasierte Mikrosystemtechnik: Komplettlösungen im Bereich MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), MOEMS (Micro-Optical-Electro-Mechanical-Systems), kapazitive Sensorik
  •  Forschung auf dem Gebiet de optoelektronischen, kapazitiven und piezoresistiven Sensorik
  • Technologieführerschaft bei Strahlungsdetektoren, Druck-MEMS, Photodioden
  • Fachkompetenz auf den Gebieten Simulation, Design, Waferprocessing, Aufbau- und Verbindungstechnik, Verifikation, Test und Analytik, Kalibrierung von Mikrosystemen
  • Entwicklungen auf den Gebieten er Fertigungstechnologien zur Prozessierung von 4“ Silizum-Wafern; CMOS-kompatible WAferprozesse einfach/ doppelseitig, 3D-Strukturierung, porosizieren, Passivierung
  • Multi-Projekt-Wafer-Service für Optosensoren (MPW)
  • Entwicklungen auf dem Gebiet der Fertigungstechnologien der Aufbau-und Verbindungstechnik für Mikrosystemen
  • Applikationszentrum Mikrooptische Systeme (amos) in Kooperation mit Fraunhofer IOF, Jena
  • BMBF Spitzenforschung „Optische Mikrosysteme“
  • Forschungspartner im Spitzencluster „Solarvalley Mitteldeutschland"
  • Enge Zusammenarbeit mit einem Netzwerk von Instituten, Hochschulen und Industrieforschungseinrichtungen

Netzwerke

  • VDMA, AG Modulare Mikrosysteme - Match-X
  • IVAM e.V.
  • Forschungsgesellschaft für Mess- und Sensortechnik e.V. Dresden
  • SolarInput e.V.
  • AMA Fachverband für Sensorik e.V.
  • Optonet e.V.
  • Solarvalley Mitteldeutschland e.V.
  • EPoSS THE EUROPEAN TECHNOLOGY PLATFORM. ON SMART SYSTEMS INTEGRATION

Kontakt

CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Geschäftsführer: Prof. Dr. Thomas Ortlepp, Thomas Brock
Konrad-Zuse-Straße 14           
99099 Erfurt               

Telefon: 0361 - 663 - 1410
Telefax: 0361 - 663 - 1413

E-Mail: info@cismst.de
Internet:  www.cismst.de