Forschungs-und Entwicklungsschwerpunkte

• Siliziumbasierte Mikrosystemtechnik: Komplettlösungen im Bereich MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), MOEMS (Micro-Optical-Electro-Mechanical-Systems), kapazitive Sensorik
•  Forschung auf dem Gebiet de optoelektronischen, kapazitiven und piezoresistiven Sensorik
• Technologieführerschaft bei Strahlungsdetektoren, Druck-MEMS, Photodioden
• Fachkompetenz auf den Gebieten Simulation, Design, Waferprocessing, Aufbau- und Verbindungstechnik, Verifikation, Test und Analytik, Kalibrierung von Mikrosystemen
• Entwicklungen auf den Gebieten er Fertigungstechnologien zur Prozessierung von 4“ Silizum-Wafern; CMOS-kompatible WAferprozesse einfach/ doppelseitig, 3D-Strukturierung, porosizieren, Passivierung
• Multi-Projekt-Wafer-Service für Optosensoren (MPW)
• Entwicklungen auf dem Gebiet der Fertigungstechnologien der Aufbau-und Verbindungstechnik für Mikrosystemen
• Applikationszentrum Mikrooptische Systeme (amos) in Kooperation mit Fraunhofer IOF, Jena
• BMBF Spitzenforschung „Optische Mikrosysteme“
• Forschungspartner im Spitzencluster „Solarvalley Mitteldeutschland"
• Enge Zusammenarbeit mit einem Netzwerk von Instituten, Hochschulen und Industrieforschungseinrichtungen