CiS
Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Forschungs-und Entwicklungsschwerpunkte
- Siliziumbasierte Mikrosystemtechnik: Komplettlösungen im Bereich MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), MOEMS (Micro-Optical-Electro-Mechanical-Systems), kapazitive Sensorik
- Forschung auf dem Gebiet de optoelektronischen, kapazitiven und piezoresistiven Sensorik
- Technologieführerschaft bei Strahlungsdetektoren, Druck-MEMS, Photodioden
- Fachkompetenz auf den Gebieten Simulation, Design, Waferprocessing, Aufbau- und Verbindungstechnik, Verifikation, Test und Analytik, Kalibrierung von Mikrosystemen
- Entwicklungen auf den Gebieten er Fertigungstechnologien zur Prozessierung von 4“ Silizum-Wafern; CMOS-kompatible WAferprozesse einfach/ doppelseitig, 3D-Strukturierung, porosizieren, Passivierung
- Multi-Projekt-Wafer-Service für Optosensoren (MPW)
- Entwicklungen auf dem Gebiet der Fertigungstechnologien der Aufbau-und Verbindungstechnik für Mikrosystemen
- Applikationszentrum Mikrooptische Systeme (amos) in Kooperation mit Fraunhofer IOF, Jena
- BMBF Spitzenforschung „Optische Mikrosysteme“
- Forschungspartner im Spitzencluster „Solarvalley Mitteldeutschland"
- Enge Zusammenarbeit mit einem Netzwerk von Instituten, Hochschulen und Industrieforschungseinrichtungen

Netzwerke
- VDMA, AG Modulare Mikrosysteme - Match-X
- IVAM e.V.
- Forschungsgesellschaft für Mess- und Sensortechnik e.V. Dresden
- SolarInput e.V.
- AMA Fachverband für Sensorik e.V.
- Optonet e.V.
- Solarvalley Mitteldeutschland e.V.
- EPoSS THE EUROPEAN TECHNOLOGY PLATFORM. ON SMART SYSTEMS INTEGRATION
Kontakt
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Geschäftsführer: Prof. Dr. Thomas Ortlepp, Thomas Brock
Konrad-Zuse-Straße 14
99099 Erfurt
Telefon: 0361 - 663 - 1410
Telefax: 0361 - 663 - 1413
E-Mail: info@cismst.de
Internet: www.cismst.de
